PECVD管式爐采用二個半圓型發熱爐膽合二為一,可自由開啟,
較大便利各種實驗操作,本開啟式電爐采用陶瓷纖維內膽,節能高效,能耗僅是普通管式電爐的三分之一,高溫電阻絲發熱,空氣散熱,金屬外殼,具有節能及可編程序強大功能,準確度可高達±1℃,其精度可與同類產品媲美。
PECVD管式爐的溫度控制系統:
溫度測量:K分度鎳鉻--鎳硅熱電偶;
控制系統:LTDE全自動可編程儀表,PID調節,顯示精度1℃;
成套電器:采用接觸器,散熱風扇,固態繼電器;
時間制:可設定升溫時間,恒溫時間控制,恒溫時間到達,自動停機;
超溫保護:內置式二級超溫保護裝置,雙重保險。
運行方式:全量程可調節恒溫,恒定運行;程序運行。
PECVD管式爐爐體構架:爐體構架由箱體和支架構成,均采用優質型鋼和鋼板致焊接制作,外表精致美觀。
采用雙層殼體結構和電40段程序控溫系統,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風冷系統,能快速升降溫。管兩端用不銹鋼法蘭密封,用流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節能等優點具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空爐型等。